四氟单体流程以及裂解部分流程图
原料F22经过热炉加热后与过热蒸汽在反应器中混合裂解，产生混合裂解气。裂解气经冷却、冷凝、碱洗塔除酸后进入气柜，经压缩机压缩冷却、冷冻脱水后进入除油器、硅胶干燥器处理后，进入1#脱轻塔，塔顶脱除轻组份，塔底物料进入2#成品收集塔，成品塔侧线收集四氟乙烯成品，塔顶回气柜，釜料进入3#塔，塔顶物料进脱Y3装置，塔釜进4#塔回收F22，4#塔釜残液进残液槽送焚烧装置处理。裂解部分：
盐酸贮槽
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蒸汽 盐酸泵
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R22回收贮槽 蒸汽缓冲罐 盐酸缓冲罐
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R22→R22贮槽→R22汽化器→R22缓冲罐→蒸汽过热炉→反应器→急冷器→石墨冷凝器
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碱洗塔顶冷凝器←碱洗塔←水洗塔后气液分离器←水洗塔←除雾器← 除尘器
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汽液分离器→氯化钙脱水塔→一级缓冲罐→一级压缩机→一级冷却器→ 汽液分离器
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精馏部分←冷却器←高效除油器←二级冷却器←二级压缩机←硅胶器←高效除油器
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↑ 硫酸塔
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硫酸塔汽液分离器 ←
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