超纯PFA衬里及其在电子化学品领域中的应用
超纯PFA衬里及其在电子化学品领域中的应用【作者】 顾秋林； 顾国跃； 童华攀；
【Author】 Gu Qiulin,Gu Guoyue,Tong Huapan(Dongyang Sida Fluorine Plastic Co.,Ltd,Dongyang,Zhejiang 322118)
【机构】 东阳市四达氟塑有限公司；
【摘要】 介绍了可熔性聚四氟乙烯(PFA)的特性,说明了PFA材料的耐腐蚀性能、金属离子析出水平、加工性能;对超纯PFA与普通PFA材料进行了比较,叙述了钢制设备的超纯PFA衬里结构及制造流程。介绍了常见的电子化学品,以及超纯PFA衬里在电子化学品中的应用情况。认为随着消费电子领域日趋繁荣及全球IC产业逐步转向中国大陆,对电子化学品的需求也越来越大,超纯PFA衬里的市场将迎来良好的发展时期。 更多还原
【关键词】 超纯可熔性聚四氟乙烯； 衬里； 金属离子析出； 电子化学品； 应用；
【参考文献】
梁骏吾.电子级多晶硅的生产工艺. 中国工程科学. 2000(12)
王树华主编.氟化工的安全技术和环境保护. 化学工业出版社, 2005
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