化学品供给、回收系统配管——FA管道安装工艺简述

聚四氟乙烯

化学品供给、回收系统配管——FA管道安装工艺简述

【作者】 李国钰； 杜丽军；

【Author】 Li Guoyu

【机构】 北京世源希达工程技术公司；

【摘要】 介绍了在芯片工厂中,应用于化学品供给、回收系统的PFA管道安装工艺。 更多还原

【关键词】 半导体； 化学品； 供给； 回收系统； PFA； 洁净； 管道；

【引证文献】
[1] 吴秀娟.  电子工厂化学品供应与回收系统概述[J]. 大众科技. 2013(04)