高纯PFA制品的品制要求有哪些？（续f二）

德容元道

咱们接着上次的话题聊，上次说到了SEMI F57的高纯聚合物材料和组件的最低性能要求包括金属离子析出要求、阴离子污染和总有机碳要求。那么金属离子析出具体对哪些元素的限值要求呢，又是怎么检测的呢？下面大概介绍一下：
首先说下检测方法：将样品浸泡在UPW、硝酸或氧化剂、盐水溶液中（根据不同应用场景选择介质）升温到85度，浸泡一周后将样品取出，然后检测液体中所限值元素的含量。SEMI F57对限值元素的要求见附件。附件是宜泽模具生产的高纯PFA接头委托SGS检测的报告。报告中就附有SEMI F57标准。