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[讨论交流] 高纯PFA制品的品制要求有哪些?(续f二)

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    [LV.5]常住居民I

    发表于 2024-8-23 14:10:26 | 显示全部楼层 |阅读模式
    本帖最后由 德容元道 于 2024-8-23 14:10 编辑

    咱们接着上次的话题聊,上次说到了SEMI F57的高纯聚合物材料和组件的最低性能要求包括金属离子析出要求、阴离子污染和总有机碳要求。那么金属离子析出具体对哪些元素的限值要求呢,又是怎么检测的呢?下面大概介绍一下:
    首先说下检测方法:将样品浸泡在UPW、硝酸或氧化剂、盐水溶液中(根据不同应用场景选择介质)升温到85度,浸泡一周后将样品取出,然后检测液体中所限值元素的含量。SEMI F57对限值元素的要求见附件。附件是宜泽模具生产的高纯PFA接头委托SGS检测的报告。报告中就附有SEMI F57标准。

    PFA接头SGS报告.pdf

    653.43 KB, 下载次数: 3

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