高纯PFA制品的品制要求有哪些？（续）

德容元道

上次谈到了高纯PFA制品需要满足SEMI F57标准，那今天咱们就来聊一聊这个标准的具体内容。

SEMI F57：用于超纯水和液态化学品输送系统的聚合物材料及组件的规范文件。标准规定了在UPW分配系统中输送超纯水(UPW)的超高纯度(UHP)聚合物材料和组件的最低性能要求。主要针对聚合物材料和组件的性能要求和验证。

国际半导体产业协会SEMI为半导体制程设备提供了一系列环境、安全和卫生方面的准则，适用于所有用于芯片制造、量测、组装和测试的设备。半导体先进制程工艺中使用的超纯水，超纯化学品的使用要求日益提高，材料的选择在半导体湿法工艺中越发重要，对含氟聚合物的纯度要求也越来越高。SEMI F57标准对UHP液态化学品输送系统(LCDS)中高聚合物材料和组件的选择、生产过 程、产品结构设计等各方面均提出了要求和有效建议。

SEMI F57标准适用的主要产品类别有：

Ⅰ. 半导体超纯水和液态化学品传送系统中的聚合物材料、组件及过程设备；

Ⅱ. 管道、配件、阀门、过滤壳体、压力传感器、流量计、计量器、校准器；

1.SEMI F57 需要测试的4类参数：

• 阴离子污染

• 金属离子污染

• 总有机碳 TOC

• 表面粗糙度

2.SEMI F57的其他定性要求

• 机械性能

• 物理性能

• 耐化学性

• 可靠性

• 可追溯要求

• 包装要求

3.主要使用化学品

• UPW

• 酸，碱和氧化剂

• 盐水溶液

由于字数限制，今天咱们就聊到这里吧。有兴趣一起探讨的朋友可以加微信（13652670882）详聊