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[讨论交流] 高纯PFA制品的品制要求有哪些?(续)

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    [LV.5]常住居民I

    发表于 2024-8-22 16:19:27 | 显示全部楼层 |阅读模式
    上次谈到了高纯PFA制品需要满足SEMI F57标准,那今天咱们就来聊一聊这个标准的具体内容。

    SEMI F57:用于超纯水和液态化学品输送系统的聚合物材料及组件的规范文件。标准规定了在UPW分配系统中输送超纯水(UPW)的超高纯度(UHP)聚合物材料和组件的最低性能要求。主要针对聚合物材料和组件的性能要求和验证。
    国际半导体产业协会SEMI为半导体制程设备提供了一系列环境、安全和卫生方面的准则,适用于所有用于芯片制造、量测、组装和测试的设备。半导体先进制程工艺中使用的超纯水,超纯化学品的使用要求日益提高,材料的选择在半导体湿法工艺中越发重要,对含氟聚合物的纯度要求也越来越高。SEMI F57标准对UHP液态化学品输送系统(LCDS)中高聚合物材料和组件的选择、生产过 程、产品结构设计等各方面均提出了要求和有效建议。
    SEMI F57标准适用的主要产品类别有:
    Ⅰ. 半导体超纯水和液态化学品传送系统中的聚合物材料、组件及过程设备;
    Ⅱ. 管道、配件、阀门、过滤壳体、压力传感器、流量计、计量器、校准器;
    1.SEMI F57 需要测试的4类参数:
    • 阴离子污染
    • 金属离子污染
    • 总有机碳 TOC
    • 表面粗糙度
    2.SEMI F57的其他定性要求
    • 机械性能
    • 物理性能
    • 耐化学性
    • 可靠性
    • 可追溯要求
    • 包装要求
    3.主要使用化学品
    UPW
    • 酸,碱和氧化剂
    • 盐水溶液
    由于字数限制,今天咱们就聊到这里吧。有兴趣一起探讨的朋友可以加微信(13652670882)详聊








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