PTFE涂层厚度测量问题?

学会成长

在使用德产EPK测厚仪测量涂层（PTFE，20~30μm）厚度时，需要先进行一下标零+校准；使用“零板和校准箔进行两点校准”（Two-point CAL with Zero and 1 foil），也就是现在标准板上标定零位，再用标准箔片校准一下。
如附图所示，不同的工艺阶段共有3块板子：①号板为原始铝板，②号板为喷涂成品，③号板为中间过程——喷砂后带喷涂的板。
结果是：以①号板为校零基准，②号板涂层厚度为22μm；以③号板为校零基准，②号板涂层厚度为17μm。（均为3次测量均值，各值偏差不大）
实际以③号板为校零基准，测量①号板，也有显示值7μm。

不同校零测量图

请教：
喷砂后加大了表面的粗糙度，也就有了测量值7μm，这个可以理解。但是专业上的涂层厚度是不是基于表面处理后的测量？
那么，合理的涂层厚度值该选22μm还是17μm？
另外，一般喷涂厂家使用傻瓜式的测厚仪，不校零，其值较大，接近22μm。

四氟

一般涂层厚度都是取平均值的，每次测量都有误差，所以一般取5-10组数据，算均值。基板是以喷砂后的铝板为准，因为是喷涂前的状态。

学会成长

四氟 发表于 2014-3-23 21:17
一般涂层厚度都是取平均值的，每次测量都有误差，所以一般取5-10组数据，算均值。基板是以喷砂后的铝板为准 ...

谢谢回复。
在同一测量条件下，一个测点是取多次值平均的，测量误差已经不是问题。
但是，我的问题是：如果“基板是以喷砂后的铝板为准，因为是喷涂前的状态。”那么我测量的值显小 。
若坚持我的值为真，那么就是要认为其他未校准测量的值为假，以我的为准。。。
也许要做个金相切片校核一下。。。

四氟

学会成长 发表于 2014-3-23 21:18
谢谢回复。
在同一测量条件下，一个测点是取多次值平均的，测量误差已经不是问题。
但是，我的问题是：如 ...

还有一个办法，就是在喷砂后的铝板表面贴一层透明胶带，以贴好胶带的面为基准，然后喷涂。喷涂后取下胶带，再测试厚度。 两者之差就是膜厚。我在工厂看到技术有用这种方法测膜厚的。

学会成长

四氟 发表于 2014-3-23 21:19
还有一个办法，就是在喷砂后的铝板表面贴一层透明胶带，以贴好胶带的面为基准，然后喷涂。喷涂后取下胶带 ...

谢谢版主的建议。
我的样片喷涂后要高温烧结，一般胶带扛不住。而且样片每次工艺不一样，所以要对样片进行测量比对。